ATOS比例閥的優點，驅動裝置不同。比例閥的驅動裝置是比例電磁鐵；伺服閥的驅動裝置是力馬達或力矩馬達。性能參數不同。滯環、中位死區、頻寬、過濾精度等特性不同，因此應用場合不同，伺服閥和伺服比例閥主要應用在閉環控制系統，其它結構的比例閥主要應用在開環控系統及閉環速度控制系統。伺服閥中位沒有死區，比例閥有中位死區。
伺服閥的頻響（響應頻率）更高，可以高達200Hz左右，比例閥一般zui高幾十Hz，伺服閥對液壓油液的要求更高，需要精過濾才行，否則容易堵塞，比例閥要求低一些，閥芯結構及加工精度不同。比例閥采用閥芯+閥體結構，閥體兼作閥套。伺服閥和伺服比例閥采用閥芯+閥套的結構。
